298.这不是必输的局吗？（第1章）(3/5)

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“浸润法是通过改变光的折射来达到更短光波的目的对吧？”曹阳问到。

“对。”张如京笑了笑，“这是个初中物理题，折射光的波长，等于入射光波长除以折射率，折射率越大，那么最后的折射波长就越短。

现在浸润式光刻技术就是通过提升入射介质的折射率和折射角度来分离短波长，从而能够提升芯片的精细度。”

想到这里，曹阳微微一笑，“那为什么不直接采用更短波长的光呢？”

张如京摇了摇头，“不行的，因为之前ibm已经研究过了，x光波对于现在深紫外光来说波长更短，但是在这种情况下，水介质对于x光的折射效果很差，当光达到一定的波长之下，水对于它们来说就不是完全透明的了，就会产生遮挡和噪影，这是没有办法解决的事情。”

“不是，我的意思是，不采用浸润光刻技术，而是干式光刻，但是将光波长缩短到两位数。”曹阳说。

“哈？！”

不只是张如京，在座的各位大佬们都是一副见了鬼的表情。

倪光南、刘强这些本身就是做芯片出身的，华为任总虽然没有从事这方面的技术研发，不过也是略知一二，而且芯片对于整个高新领域来说，就相当于心脏，是不可或缺的东西，怎么着也会跟芯片打交道，没有做过也大概有所了解。

这……

要知道现在能够生产出193纳米的深紫外光就已经是极限了，深紫外光最多能提升到157nm。

如果采用浸润法，用纯净水作浸没液，其折射率为144，因此等效波长便从193nm降到了134nm（193nm/114=134nm），分辨率也因此提高了，工艺节点可以向45-22nm迈进。

现在曹阳居然说使用两位数，也就是低于100纳米的波长光源，这简直就是天方夜谭。

所以张如京愣了一下，笑了起来，“如果真的有这种光源的话，我们能生产出个位数纳米级的芯片。”

那个时候，带来的芯片处理性能的提升可以说用飞跃来形容。

“是啊，现在国内连稳定的深紫外光都造不出来，去哪里弄那么短波长的光源啊？”倪教授也跟着说。

嗯……

现在不但中国没有，国外也没有，要到2012年asml收购cymer这家顶级光源公司之后，光波波长短到135nm的极紫外稳定光源才会出现。

这对于全世界来说都是一个难题，同时也就意味着机遇。

只不过现在曹阳有没有办法把握而已。

曹阳现在的印象很模糊，毕竟前世他也不是学这些专业的，只是因为20年前后华为被制裁事件，让他了解到不少关于光刻机的知识，也仅仅是一知半解，对某些原理只懂得字面上的意思，停留在比较理论的层面，具体的内容他就完全不懂了。

不过……

他觉得可以等过几天去母校问一下，如果曹阳没有记错的话，其实到2021年我们国家清大已经能够自主研发出稳定的极紫外光了。