第149章 这怎么可能……(4/5)

首发：~第149章 这怎么可能……

梁致远移动鼠标，点开了第六类。

【铜互连与低介电常数材料】

下一秒。

又是一长串更加详细的目录出现在屏幕上。

【铜互连电镀液配方及添加剂控制】

【钽及氮化钽扩散阻挡层沉积工艺】

......

梁致远的目光，猛地停在了最后一项上。

【六十五纳米工艺铜互连可靠性完整解决方案】

这正是他们半导体研究所目前正在进行的重点项目。

为了推进六十五纳米工艺量产，半个月前，所里才正式成立了专项小组，由他亲自担任项目负责人。

梁致远立刻点开了这份资料。

屏幕上再次出现了数十个子目录，一层套着一层，似乎详细到怎么也点不完。

梁致远连续点击五六次以后。

密密麻麻的数据、公式和实验图表，终于铺满了整个屏幕。

梁致远快速翻了两页。

原本放在鼠标上的右手，突然轻轻颤抖了一下。

“这……”

他下意识坐直身体，又往下翻了几页。

手指却抖得越来越明显。

“这怎么可能……”

资料中给出的。

正是他们项目组目前准备攻克的难题。

最近半个月。