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首发:~第464章 泰斗折服,八旬国士愿为小学生!
钟元年没有再问下去。
他知道,再问,就是自取其辱了。
他回到了自己的座位上,沉默了许久。
整个会议室里的空气,都仿佛凝固了。
当钟元年再次抬起头时,他看着李昂的眼神,已经彻底变了。
如果说之前是审视和考量。
那么现在,就是纯粹的,面对未知领域的敬畏。
“光刻机呢?”
他沙哑地问出了最后一个,也是最核心的问题。
所有人的心,都提到了嗓子眼。
李昂没有直接回答。
他回到桌前,从那堆资料里,抽出了一份最厚的文件,翻开。
“我们不碰EUV。”
他开宗明义。
“那是一条用专利和时间堆砌起来的死路,我们现在闯不进去。”
他的手指,点在了文件的一行标题上。
“我们的路,在DUV上。”
“通过改进光源,将波长从193纳米压缩到更短。”
“通过升级双工件台,将运动精度和同步误差控制在纳米级别。”
“再结合我之前说的,浸没式光刻的液体折射率补偿方案。”
“这条路走到极致,我们同样可以实现14纳米,甚至是7纳米的制程!”
李昂的声音不高,但每一个字,都像一颗颗炸雷,在众人耳边轰然炸响。
他没有谈论任何虚无缥缈的理论。
他说的每一步,每一个技术节点,都给出了清晰、明确,甚至带着详细参数的实现路径。
这已经不是一份计划书了。
这更像是一份……亲身经历过这条技术路线后,写下的回忆录!
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